实时短信(SMS) 应用于无线通讯受限的厂区自动测量

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      在晶圆厂区内，晶圆生产良率的优劣与机台的状况及环境数据息息相关，因此晶圆厂对于这些数据极为重视。现有的做法是人工带着仪表到厂区各处进行机台及环境数据的测量，这样的测量方式既耗时又费力且难达到定时定量的测量，且人力在现场测量时可能因为人为因素干扰到现场环境而影响测量数据失真。因此如何以更有效率的方式达成现场机台以及环境数据的采集是目前晶圆厂所面对的一个极为重要的议题。

      关键字：G-4513、tBLE-720、G-4513

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